南方日报讯 (记者/曾良科昌道励熊程通讯员/黄丹傅梦娟)广东平板显现及用掩膜版出产基地项目开工典礼在佛山南海举办。该项目整体出资约35亿元,将建造平板显现配套掩膜版出产线和IC配套掩膜版出产线nm光掩膜版量产,满意8寸和12寸晶圆厂掩膜版需求。
掩膜版是平板显现、半导体等职业出产制造的完好过程中重要的要害资料,则是国内建立最早、尖端规划的掩膜版出产企业之一。本次在佛山南海开工的项目,包含高精度掩膜版出产基地建造项目、高端半导体掩膜版出产基地建造项目。
在平板显现掩膜版方面,清溢光电现在已完成8.6代高精度掩膜版及6代中高精度AMOLED/LTPS掩膜版的量产。“该项目一期首要出产8.6代及以下高精度掩膜版,使用于a-Si、LTPS、AM、LTPO、MicroLED等平板显现掩膜版产品。”清溢光电董事、总经理吴克强介绍说,接下来还将在佛山建造侧重于高精度平板显现掩膜版的研制与出产,“直面全球显现技能革新。”
在半导体芯片掩膜版方面,清溢光电的产品已完成150nm工艺节点的产品客户测验认证,正在推进130nm-65nm的PSM和OPC工艺的掩膜版开发,以及28nm半导体芯片所需的掩膜版工艺开发规划。在佛山建造的“高端半导体掩膜版出产基地建造项目”将着眼于半导体掩膜版的出产,该项目一期完成并掩盖250nm-65nm制程的高端半导体掩膜版。
新式显现与半导体工业是晋级新式消费、强大数字化的经济、开展新质出产力的重要工业范畴。《广东省培养半导体及集成电路战略性新鼓起的工业集群行动计划(2023—2025年)》提出,到2025年,赶快构成穗莞深惠和广佛中珠两大开展带,使珠三角区域建造成为具有世界影响力的半导体及集成电路工业集聚区。
“项目落地有助于推进广东尤其是佛山的新式显现及半导体工业集聚化、链条化开展,打造工业高水平开展的新增长点。”吴克强表明。
以平板显现掩膜版为例,项目建成后将带动石英玻璃资料、掩膜版用保护膜、平板显现器材出产专用设备等上游工业高质量开展,并推进下流五颜六色滤光片、触控面板、液晶面板工业前进,从而拉动终端使用产品如笔记本电脑、台式显现器、液晶电视等下流工业开展。
“全球平板显现与半导体未来商场开展的潜力宽广,佛山南海出产基地将成为国内一流的职业出产基地,引领国产半导体掩模版技能创新,为我国甚至全球平板显现及半导体工业的前进贡献力量。”清溢光电董事、半岛针织厂有限公司履行董事唐嘉盛说。
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